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9-20
MicroChem光刻膠滿足的硬性指標(biāo)要求MicroChem光刻膠的主要性能劃分光刻膠的一個(gè)基本的類別是它的極性。光刻膠在曝光之后,被浸入顯影溶液中。在顯影過程中,正性光刻膠曝過光的區(qū)域溶解得要快得多。理想情況下,未曝光的區(qū)域保持不變。負(fù)性光刻膠正好相反,在顯影劑中未曝光的區(qū)域?qū)⑷芙?,而曝光的區(qū)域被保留。正性膠的分辨力往往是的,因此在IC制造中的應(yīng)用更為普及,由于加工要求相對(duì)較低,光刻膠需求量大,負(fù)性膠仍有應(yīng)用市場。MicroChem光刻膠必須滿足幾個(gè)硬性指標(biāo)要求:高靈敏度,...
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MicroChem光刻膠有哪些地方適用情況MicroChem光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,它受到光照后特性會(huì)發(fā)生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上。光刻膠有正膠和負(fù)膠之分。正膠經(jīng)過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經(jīng)過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形;而負(fù)膠卻恰恰相反,經(jīng)過曝光后,受到光照的部分會(huì)變得不易溶解,經(jīng)過顯影后,留下光照部分形成圖形。負(fù)膠在光刻工藝上應(yīng)用zui早,其工藝成本低、產(chǎn)量高,但由于它吸收顯影液后會(huì)膨脹,導(dǎo)致其分辨率...
7-21
德國Diener等離子清洗機(jī)等離子效應(yīng)分類德國Diener等離子清洗機(jī)等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合。德國Diener等離子清洗機(jī)等離子技術(shù),氣體在真空中通過獲取能量從而被激發(fā)。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應(yīng)粒子組成。由上,材料表面可以被有效的改變。等離子效應(yīng)可分為以下三類:一微砂噴射:材料表面通過離子轟擊被消減二化學(xué)反應(yīng):材料表面與離子化的氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)三紫外線放射:紫外射線將長鏈碳化合物分解
10-31
如果您在日常使用NXQ8000系列掩膜曝光機(jī)時(shí),能按照要求做好檢修工作,其部件出現(xiàn)異常的可能性就會(huì)大幅度下降,那么此項(xiàng)工作應(yīng)該如何進(jìn)行呢?NXQ8000系列掩膜曝光機(jī)的有哪些養(yǎng)護(hù)需求?關(guān)于曝光機(jī)進(jìn)行養(yǎng)護(hù),而這個(gè)養(yǎng)護(hù)與保護(hù)也要按必定的規(guī)則來操作,這樣利于機(jī)械設(shè)備的運(yùn)作,一起按對(duì)應(yīng)的設(shè)備安全技能功能的有關(guān)需求來保護(hù),能夠有用的確保設(shè)備與人員的zui大的安全。1.設(shè)備裝置前的查看設(shè)備也由各個(gè)部件組成的,在裝置之前,關(guān)于各個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行查看,查看首要的鋼結(jié)構(gòu),軸承,螺栓等就狀況,一起...
10-27
要想NXQ4006光刻機(jī)各部件始終保持良好的狀態(tài),堅(jiān)持經(jīng)常的維護(hù)保養(yǎng)是十分重要的,做好NXQ4006光刻機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)還可以延長使用壽命。1、每天下班前將機(jī)床內(nèi)的鋁屑清除干凈,清潔機(jī)床外表,用干凈柔軟的布清潔顯示屏。2、每周用壓縮空氣清潔一次各個(gè)冷卻風(fēng)扇。3、每周較*地清潔一次機(jī)床內(nèi)部。4、定期保養(yǎng)5、導(dǎo)軌和絲杠每月加一次潤滑脂。6、每半年更換一次主軸冷卻液。另外為了能夠更長、更穩(wěn)定地使用主軸電機(jī),應(yīng)注意定期加油,保持軸承的潤滑。不能有水進(jìn)入電機(jī)內(nèi)。保持軸承的清潔??稍诟咿D(zhuǎn)速、...
9-24
只有NXQ8000系列掩膜曝光機(jī)保養(yǎng)得當(dāng)才有可能發(fā)揮出更加*的性能。對(duì)于操作精密NXQ8000系列掩膜曝光機(jī)的人來說,他可以不知道儀器的發(fā)明原理,但是必須要了解其正確的使用方法和規(guī)則,同時(shí)關(guān)于NXQ8000系列掩膜曝光機(jī)設(shè)備的日常保養(yǎng)維修注意事項(xiàng)也是必須要掌握和了解的。一、壓膜輪1、壓論是否垂直、水平2、亞綸是否破損3、上下輪間隙是否過大4、氣壓是否正常二、電控1、有無漏電或線路破損2、按鍵是否靈活3、調(diào)速是否正常三、溫控1、感溫探頭是否破損斷線2、加熱器是否正常3、溫度顯示...
9-10
操作NXQ4006光刻機(jī)要注意正確方法,才能避免在這個(gè)過程中出現(xiàn)失誤對(duì)NXQ4006光刻機(jī)造成難以復(fù)原的損壞。下面我們就來看看如何合理操作吧。(1)戴一次性手套,若不小心濺上反應(yīng)液,立即更換手套。(2)使用一次性吸頭,嚴(yán)禁與PCR產(chǎn)物分析室的吸頭混用,吸頭不要長時(shí)間暴露于空氣中,避免氣溶膠的污染。(3)避免反應(yīng)液飛濺,打開反應(yīng)管時(shí)為避免此種情況,開蓋前稍離心收集液體于管底。若不小心濺到手套或桌面上,應(yīng)立刻更換手套并用稀酸擦拭桌面。(4)操作多份樣品時(shí),制備反應(yīng)混合液,先將dN...
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