系統(tǒng)的技術(shù)描述

Heron 80是一款大尺寸獨立等離子系統(tǒng)，專為表面清潔，改裝和激活而設(shè)計。 它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。 下面描述的特性使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。

主機由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側(cè)面板，便于維護或故障排除。 外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。

Heron 80的控制系統(tǒng)基于配備觸摸屏HMI操作面板的*PLC。 由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統(tǒng)組件或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。 PLC具有快速掃描時間，可連續(xù)測量所有系統(tǒng)參數(shù)，以確保均勻可靠的過程。 無法避免的手動處理是裝載/卸載樣品的步驟。

   Heron 80是等離子體反應(yīng)器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內(nèi)部具有幾個同心籠電極。

   他的處理室由鋁制成。 由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應(yīng)器適用于大多數(shù)反應(yīng)等離子體環(huán)境（即蝕刻，灰化...）。 沒有焊接可確保更好的密封，從而防止過程中的外部污染

產(chǎn)品特點

?成本低
?觸摸屏顯示提供實時的所有主要信息，出色的過程控制和快速分析

?能夠處理多達十種不同的可編輯配方
?*結(jié)果的*性
?數(shù)據(jù)記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過程的歷史條件
?出色的過程控制和長期可靠性和穩(wěn)定性
?使用的主要品牌組件，如真空計和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）
?射頻功率可在1W至600W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

技術(shù)規(guī)格

尺寸        寬 x 長 x 高     700 x 600 x 1750 mm

凈重             130 Kg （不含真空泵）

凈空             右，左，前 -  600mm，后 -  254mm