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簡要描述:OS勻膠旋涂儀(英文名:Spin Coaterr & Spin Processor)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、甩膠機、旋轉(zhuǎn)涂布機,旋轉(zhuǎn)涂敷儀,涂膜機,涂布機
詳細介紹
旋涂是一種廣泛使用的多功能技術(shù),用于將材料沉積到基材上,從而獲得可控的薄膜厚度。該款OS勻膠旋涂儀價格實惠,操作簡單,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地空間小,為實驗室提供了理想的解決方案。該款OS勻膠旋涂儀采用創(chuàng)新設(shè)計的托盤,無需真空泵或充氮氣,就能達到很好的旋涂效果;內(nèi)置調(diào)整水平裝置,大限度的保證旋涂均勻;可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。
為什么要無真空?
市場上的大多數(shù)使用真空泵在旋轉(zhuǎn)時保持基材。 與其他產(chǎn)品不同的是,該款采用創(chuàng)新設(shè)計的托盤,襯底通過切入聚丙烯托盤的凹槽保持在適當?shù)奈恢茫苟嘤嗟耐繉硬牧媳慌懦觥?/span>
該款托盤將基材固定在適當位置,無需真空,確保其穩(wěn)定性。
真空吸盤很可能會造成較薄的基材向內(nèi)翹曲,影響涂層的均勻性,降低設(shè)備的質(zhì)量和性能。 而這款無真空吸盤可確保您的基材平整無損,即使它們是柔性基材,也能保持均勻的薄膜分布。
與常規(guī)旋涂儀相比,該款無真空旋涂儀能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的薄膜分布。
真空旋涂儀只能安裝在有真空管路的地方,固定在保留設(shè)置的位置上,不用時會占用空間。 由于不需要真空管線,該款旋涂儀可以安裝在任何位置,可以在臺面上,通風(fēng)櫥和手套箱中使用,只需一個電源插座。
大多數(shù)旋涂儀都被真空泵的隱藏成本所困擾,這些真空泵通常需單獨報價。 真空泵容易斷裂,造成昂貴的維修費用,延誤實驗進程。 這主要是由于過量的溶劑被吸入真空管路中,損壞了內(nèi)部元件。使用該款無真空旋涂儀可以減少短期和長期成本,為您提供啟動旋涂所需的一切 - 以1950英鎊的全包價格。 我們還提供免費的1年保修服務(wù),以便在需要維修的情況下盡快恢復(fù)設(shè)備正常工作。
產(chǎn)品特點:
• 體積小巧:可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,基座面積僅為22.5 x 17 cm。
• 易安裝:開機即用(無需真空泵、充氮氣)。
• 智能程序化控制:旋轉(zhuǎn)速度從120到6000 rpm可編程,可對不同基片進行旋涂(從緩慢干燥結(jié)晶到超薄膜)。此外,內(nèi)置的控制系統(tǒng)有10個獨立的用戶配置文件 - 每個配置文件可以節(jié)省10個程序,可達50個步驟。
• 旋涂質(zhì)量好:內(nèi)置的水平儀和可調(diào)節(jié)支腳可確保平面旋轉(zhuǎn)軸,無真空吸盤可防止在薄基材上發(fā)生翹曲,這兩個因素帶來了*的旋涂效果。
• 低成本、低維修率:使用真空的旋涂系統(tǒng)容易損壞,修理程序復(fù)雜。 而該款需要移動部件很少,無需真空,并且質(zhì)保1年,節(jié)省很多保養(yǎng)維護費用。
• 耐酸堿防腐蝕的防護材質(zhì):堅固的不銹鋼外殼,鋼化玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和托盤,在各種苛刻條件下仍能保證設(shè)備正常運行。
• 安全:24 V直流電源供電,不使用高電壓或電源。 防止溶劑濺出、程序篡改,采用智能程序控制自動聯(lián)鎖,保證設(shè)備運行安全。
技術(shù)參數(shù):
用戶配置文件:10個;
程序:每個用戶配置文件上有10個程序,每個程序多達50個步驟;
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<2%;
旋轉(zhuǎn)速度:120 - 6000 RPM;
旋涂時間:1 - 1000 sec;
電源:DC 24V 2A,通過100-240v 50 / 60Hz電源適配器;
聯(lián)鎖:工作狀態(tài)蓋子自動鎖止功能;
尺寸:225 x 170 x 132 mm;
材質(zhì):PP腔體,不銹鋼外殼,鋼化玻璃蓋。
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