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等離子體處理儀處理過程屬于干法處理,能達(dá)到什么意義呢

更新時(shí)間:2021-03-17      點(diǎn)擊次數(shù):1028
  等離子體處理儀是通過利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài),利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
  等離子體是指電離氣體,是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體。清洗時(shí)高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子,使之離解或電離,利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而有效地清除各種污染物;還可以改善材料本身的表面性能,如提高表面的潤(rùn)濕性能和改善膜的粘著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。
  等離子體處理儀具有以下明顯優(yōu)點(diǎn):
  (1)處理溫度低,處理時(shí)間短,節(jié)約能耗,可縮短工藝流程;
  (2)處理過程中不使用酸堿等化工原料,避免了高溫潮濕的生產(chǎn)環(huán)境;
  (3)處理深度僅為數(shù)百埃到幾納米,不影響基體的固有性質(zhì);
  (4)處理過程屬于干法處理,可大幅降低水資源消耗,對(duì)節(jié)約水資源有重要的社會(huì)經(jīng)濟(jì)意義;
  (5)處理過程中無三廢排放,既保護(hù)了環(huán)境,又節(jié)約了企業(yè)的治污費(fèi)用,符合國(guó)家的環(huán)保政策;
  (6)可采用不同的氣體介質(zhì)進(jìn)行處理,對(duì)材料終的表面化學(xué)結(jié)構(gòu)和性質(zhì)有較好的可控性。
  等離子體處理儀的用途
 ?。?)醫(yī)用材料研究,主要為研究和開發(fā)企業(yè)或研究所;
 ?。?)電子領(lǐng)域,應(yīng)用較為廣泛,如電路板等;
 ?。?)生物芯片領(lǐng)域;
  (4)高分子材料研究或開發(fā)單位;
  (5)精密研究的清洗、除污。保證儀器的正常使用;
 ?。?)光學(xué)材料的開發(fā)和研究;
 ?。?)電化學(xué)單位,進(jìn)行表面處理的單位;
 ?。?)其他主要進(jìn)行表面處理的單位。
  
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