德國Diener等離子清洗機等離子刻蝕物的處理
金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層,在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到*潔凈和無氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會產生以下效果:
1.1灰化表面有機層
表面會受到物理轟擊和化學處理(氧下圖)
在真空和瞬時高溫狀態(tài)下,污染物部分蒸發(fā)
污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空泵抽出
紫外輻射破壞污染物
因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。
1.2氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學反應
這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合氣體。有時也采用兩步處理工藝。步先用氧氣氧化表面,第二步用氫氣和氬氣的混合氣體去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。
1.3焊接
通常,印刷線路板(PCB)在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除,否則會帶來腐蝕等問題。
1.4鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的,也需要進行等離子清洗。
二、德國Diener等離子清洗機等離子刻蝕物的處理
在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會變成氣相(例如在使用氟氣對硅刻蝕時,下圖)。處理氣體和基體物質被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(例如半導體行業(yè)用鉻做覆蓋材料)。
等離子方法也用于刻蝕塑料表面,通過氧氣可以灰化填充混合物,同時得到分布分析情況??涛g方法在塑料印刷和粘合時作為預處理手段是十分重要的,如POM、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積提高粘合強度。